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什么是FAB无尘车间?

来源:admin 发布时间:2021/8/13

        如今许多产品或行业都会有自己的英文名称,为了提高辨识度和辨识度,他们会用首字母的简称来称呼,比如FAB无尘室,这意味着什么?以下海博尔净化为您解答。

        FAB洁净室是芯片生产加工净化厂的一般称呼。tsmc、中.心国际生产线被称为FAB。净化厂不同等级气体洁净度等级的空气过滤器的采用、配置要点:对于300000级空气过滤解决方案,可以选择亚高.效送风口代替高.效送风口的气体洁净度等级为100级、10000级和100000级空气过滤解决方案,应选择初、中、高.效送风口三级过滤装置。

 

        FAB半导体材料芯片洁净室工作环境的规定:由于电子设备在和生产过程中对室内空气质量、自然环境和质量的规定级其严格,关键目标是控制颗粒和灰尘,同时对自然环境的温度、湿度、新鲜空气量和噪音也有严格的要求。

1、室内噪声水平(空态):不得超过65dB(A)。

2、垂直流净化室的布满比不得低于百分之60,水平单边流净化室不得低于百分之40,否则部分单边流动。

3、与室外负压差不得低于10Pa,不同气体洁净度水平的洁净区和非洁净区之间的负压差不得低于5Pa。

4、洁净室内的新鲜空气量应选择以下两项中的zui高值:

5、补偿室内风量,维持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

6、确保供给洁净室内每个人每小时间的新鲜空气量不得低于40m3。如果设置新鲜空气量,应设置新鲜空气供给系统,并设置新鲜空气供给系统。

7、如果没有新鲜空气供给系统的新鲜空气量,应设置新鲜空气供给系统,应设置新鲜空气新鲜空气供给系统。

 

        半导体材料(FAB)净化室的空气湿度目标大约控制在百分之30-50的范围内,允许偏差在百分之1的狭窄范围内,如光刻技术区或远紫外线解决(DUV)区甚至更小——其他区域可以释放压力到百分之5。

        上述就是海博尔净化工程有限公司为您介绍的FAB无尘室,希望对您有所帮助。这只是一个英文词汇的缩写,简称FAB,意思是芯片加工车间,对业界十分重要。

 

无尘车间设备的分类和功能

 

无尘车间测试标准

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